Warum Chromium? (Technische Vorteile)
Chrom ist aufgrund seiner einzigartigen physikalischen Eigenschaften der Industriestandard für hochpräzises optisches Ausblenden und Strukturieren:
- Hohe optische Dichte (OD): Chrombeschichtungen verhindern wirksam den Lichtdurchlass. Wir können die Schichtdicke präzise steuern, um bestimmte optische Dichten (z. B. OD 3,0, 4,0 oder >5,0) zu erreichen, wodurch sichergestellt wird, dass in den beschichteten Bereichen keinerlei Licht austritt.
- Hervorragende Haftkraft: Chrom verbindet sich auf natürliche und chemische Weise mit Glas (Siliciumdioxid). Es blättert nicht ab, splittert nicht und besteht übliche Klebekrafttests.
- Extreme Langlebigkeit: Chrom ist ein bekanntermaßen hartes Metall. Die daraus resultierende Beschichtung ist äußerst kratzfest und hält auch rauer Behandlung, Ultraschallreinigung und rauen Umgebungsbedingungen stand.
- Definition von „Superior Edge“: Beim Ätzen behält Chrom außergewöhnlich scharfe, saubere Kanten bei, ohne die bei anderen Metallbeschichtungen auftretenden Ausfransungen, wodurch es sich ideal für die Mikrostrukturierung eignet.
Unsere Kompetenzen im Bereich Beschichtung und Strukturierung
Wir beschichten das Glas nicht nur, sondern fertigen es genau nach Ihren Vorgaben. Zu unseren Leistungen gehören:
- Löcherfreie Abscheidung: Mithilfe modernster Magnetron-Sputtertechnik bringen wir dichte, gleichmäßige und absolut porenfreie Chromschichten auf, die für Laser- und Bildgebungsanwendungen von entscheidender Bedeutung sind.
- Chrom mit geringer Reflexion (AR): Standard-Chrom ist stark reflektierend. Für Anwendungen wie die Lithografie, bei denen interne Reflexionen zu "Geisterbildern" führen, bieten wir Antireflex-Chrom (Cr + CrxOy-Schichten) um eine hohe OD-Blockierung bei extrem geringer Oberflächenreflexion zu gewährleisten.
- Präzisionsfotolithografie und Nass-/Trockenätzung: Wir können komplexe Geometrien, Gitter und Öffnungen direkt in die Chromschicht ätzen. Unser Verfahren ermöglicht Strukturgrößen im Mikrometer- und Submikrometerbereich mit extrem engen Toleranzen.
- Vielseitigkeit bei den Substraten: Wir bringen Chrombeschichtungen auf einer Vielzahl von polierten Substraten auf, darunter Kalk-Natron-Glas, Borosilikatglas (B270/Borofloat), Quarzglas und Quarzglas (fused silica), je nach Ihren Anforderungen an die UV-/VIS-/IR-Durchlässigkeit.
Häufige Anwendungsbereiche von Chromglas
Unsere maßgefertigten, verchromten und strukturierten Substrate werden weltweit in Hightech-Systeme integriert:
- Fotomasken und Retikel: Wird in der Halbleiterlithografie, der Leiterplattenherstellung und der MEMS-Fertigung eingesetzt.
- Kalibrierungsziele für die industrielle Bildverarbeitung: Präzisions-Schachbrettmuster, Punktraster und Auflösungsprüftabellen zur Kalibrierung von Kameras und optischen Sensoren.
- Optische Spalte und Lochblenden: Wesentliche Komponenten für Spektrometer, Spektralphotometer und räumliche Filterung in der Laseroptik.
- Blenden und Encoder: Maßgefertigte, lichtundurchlässige Fenster und hochpräzise Dreh- und Linear-Encoderscheiben.
Angebot für eine Sonderanfertigung anfordern
Von strukturlosen Chromrohlingen bis hin zu komplexen, fein geätzten optischen Targets – wir begleiten Ihr Projekt vom Prototyp bis zur Serienfertigung.
Um Ihnen ein genaues Angebot unterbreiten zu können, teilen Sie uns bitte Folgendes mit:
- Substratmaterial: (z. B. Kalk-Natron-Glas für sichtbares Licht, Quarzglas für UV-Anwendungen).
- Optische Dichte (OD): Oder erforderliche Chromdicke (z. B. Außendurchmesser > 3,0).
- Beschichtungsart: Standard-Chrom mit Spiegelglanz oder Chrom mit Antireflexbeschichtung (AR)?
- Anforderungen an die Mustergestaltung: Falls eine Ätzbearbeitung erforderlich ist, fügen Sie bitte Ihre CAD-/Gerber-Datei bei oder geben Sie die Mindeststrukturgröße an (z. B. 5 μm schmale Schlitze).
