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ガラス、石英、セラミック部品のCNC穴あけ加工

CNC穴あけ加工は、ガラスや脆性材料の部品に、エッジの欠けを最小限に抑えながら、正確な穴、カウンターボア、カウンターシンク、盲穴、または角度付き穴を加工する必要がある場合に用いられます。 ダイヤモンド工具、冷却液制御、およびCNC位置決めを活用することで、溶融シリカ、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス、サファイア、ガラスセラミックス、光学ガラス、シリコン、および工業用セラミックスに適しています。.

代表的な用途としては、マイクロ流体用の流入口・流出口、光学機器の取り付け穴、真空チャックの穴、センサーの開口部、冷却水流路、位置合わせ用穴などが挙げられます。図面に基づいて、お客様のご要望に応じた穴パターンの加工が可能です。また、面取り、エッジ研磨、超音波洗浄、コーティング、寸法検査などのオプション加工も承っております。.

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詳細 概要

CNC穴あけ加工とは?

ガラスや光学基板向けのCNC穴あけ加工は、高剛性のCNCマシニングセンターに装着されたダイヤモンドメッキまたはダイヤモンド焼結のドリルビットを用いて、脆性材料に貫通穴、盲穴、カウンターボア、およびカウンターシンクを形成する精密加工プロセスです。 金属の穴あけとは異なり、ガラスの穴あけはせん断切削ではなく研磨切削に依存しています。ダイヤモンド砥粒が徐々に材料を除去し、連続的な冷却液が切りくずを洗い流し、熱による損傷を防ぎます。 最新の5軸CNCプラットフォームでは、任意の角度での位置決めと穴あけを同時に行うことができ、位置精度±10 µmで、切りくずの出ないきれいなエッジを実現します。このプロセスは、穴が他の精密な形状とシームレスに統合されなければならないマイクロ流体デバイス、光学実装基板、ディスプレイガラス、半導体キャリアなどに不可欠です。.

プロセス能力

  • 穴径の範囲: 0.3 mm ~ 50 mm(標準);最小0.1 mm(微細穴あけ)
  • 直径の公差: ±5 µm(高精度);±20 µm(標準)
  • 位置精度: 基板全体で±10 µm
  • 深さ対直径比: 最大20:1(ピーキングサイクルおよびクーラント使用時)
  • 最大掘削深度: 30 mm(標準);50 mm(特注治具)
  • 穴の種類: 貫通穴、盲穴、座ぐり、皿穴、テーパー穴
  • 穴あけ角度: 0°~90°(5軸対応)

対応素材

1溶融石英コーニング 7980 / 東ソー ES-2000
2石英ガラスSCHOTT Lithosil Q / Heraeus Suprasil 1
3ホウケイ酸ガラスパイレックス 7740 / ボロフロート 33
4ソーダ・ライムガラスフロートガラス/強化ガラス
5サファイアC面/A面
6結晶化ガラスZERODUR / PYROCERAM 9606
7光学ガラスBK7 / N-BK7
8工業用セラミックスAl₂O₃ / AlN / Si₃N₄
9シリコンフロートゾーン/チョクラルスキー法
10CaF₂UV対応グレード/IR対応グレード
11ゲルマニウム単結晶/多結晶

エッジの品質と仕上げ

  • 入退場時のチップ読み取り: 50 µm以下(標準);20 µm以下(高精度、バッキングプレート付き)
  • 穴の壁面粗さ(Ra): 0.8~1.6 µm(穿孔直後);0.1 µm(研磨後)
  • エッジの面取り: 両面にC0.1~C1.0の面取り(オプション)
  • 丸み: 5 µm 以下(標準);2 µm 以下(精密研磨穴)
  • 面に対する直交性: ≤ 0.05°(5軸補正済み)
  • 後処理オプション: エッジ研磨、化学エッチング、ARコーティングに対応

代表的な用途

  • マイクロ流体デバイス: ラボオンチップおよびバイオチップ基板用の流入口・流出口
  • 光学用取り付けプレート: 精密光学アセンブリ用の取り付け穴
  • 半導体キャリア: 石英ウェーハの真空チャック用穴およびピンリフト用穴
  • ディスプレイガラス: スピーカー用開口部、センサー用穴、および取り付け用突起
  • レーザー部品: レーザー共振器部品の冷却水流路およびガスポート
  • 科学機器: 真空フィードスルーおよび光学アライメント用穴

カスタム仕様

当社は、試作から大量生産まで、用途の要件に合わせて公差等級を調整可能なCNC穴あけの受注加工を承っております。カスタマイズ可能なパラメータには、穴の配置パターン、傾斜穴あけ、段付き穴、および1回のセットアップで穴あけと輪郭加工、スロット加工、エッジプロファイリングを組み合わせた統合加工ワークフローなどが含まれます。 穴あけ後のサービス(エッジ研磨、超音波洗浄、ARコーティング、CMMレポート付き寸法検査など)も、包括的な加工パッケージの一環としてご利用いただけます。穴あけ加工されたすべての部品には、完全な寸法データと材料のトレーサビリティが添付されて納品されます。.

掘削能力:孔深と直径の関係

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