コーニング® 7980 合成溶融石英

Corning® 7980は、UV光学、半導体、レーザー、および航空宇宙関連の精密部品に使用される高純度の合成溶融石英材料です。180～2500 nmの波長域で優れたUV透過率を持ち、熱膨張係数は0.52 × 10⁻⁶ /°Cという低い熱膨張率、最大Δn ≤ 1 × 10⁻⁶という高い光学均一性、そして優れた電気絶縁特性を備えており、安定した光学性能、低い熱変形、および信頼性の高い寸法管理が求められる部品に適しています。.

当社は、図面、厚さ、表面品質、および用途要件に基づき、コーニング® 7980 溶融石英を加工しています。代表的な製品には、フォトリソグラフィ用ウィンドウ、拡散管、ウェーハキャリア、UV光学素子、レーザーウィンドウ、193 nm／248 nmエキシマレーザー用光学部品、および高安定性光学基板などがあります。.

今すぐお問い合わせくださいお問い合わせ

詳細概要

1. 基本情報

品目	仕様
材料の種類	合成溶融シリカ
ブランド	コーニング®
学年	7980
代表的なOH含有量	約 800～1000 ppm
密度	2.20 g/cm³

2. 熱的特性

品目	仕様
CTE（0～300°C）	0.52 × 10⁻⁶ /°C
軟化点	≈ 1585°C
アニーリングポイント	≈ 1042°C
ひずみ点	≈ 893°C
熱伝導率	1.38 W/(m·K)

3. 機械的特性

品目	仕様
ヤング率	72.7 GPa
せん断弾性率	31.4 GPa
ポアソン比	0.17
クノープ硬度	≈ 522 kg/mm²
曲げ強度	≈ 70 MPa

4. 光学特性

品目	仕様
587.6 nmにおける屈折率	1.4585
アッベ数	67.8
伝達範囲	180～2500 nm
紫外線透過率	素晴らしい
均質性	Δn ≤ 1 × 10⁻⁶

5. 電気的特性

品目	仕様
誘電率（20°C、1 MHz）	3.75
ロスタンジェント	≈ 0.0001
体積抵抗率	> 10¹⁸ Ω・cm
絶縁耐力	≈ 250～400 kV/cm

6. 代表的な用途

フィールド	用途
半導体	フォトリソグラフィ用ウィンドウ、拡散チューブ、ウェーハキャリア
光学	UV用光学素子、レーザー用窓
レーザー	193 nm / 248 nm エキシマレーザー用光学系
航空宇宙	高安定性光学基板