高精度溶融石英ガラス – 優れた光学・熱性能
- 溶融石英ガラスは、光学材料科学の最高峰であり、次のような特長を備えています。
- 紫外線、可視光、赤外線の各波長域にわたって比類のない透明性を備えています。.
- アノール社は、半導体リソグラフィー用の精密溶融石英部品を製造しており、,
- レーザー光学、分光法、および以下のような高温の産業用途において
- 従来のガラスでは実現できません。.
- 熱膨張係数（CTE ≈ 0.5 × 10⁻⁶ /°C）がほぼゼロであり、並外れた耐薬品性を
- 不活性であり、200～2500 nmの波長範囲で95%を超える光透過率を持つ、溶融石英
- ミッションクリティカルな光学システムにおいて、最適な材料です。.
なぜフューズド・クォーツ・ガラスを選ぶべきなのか？
✓ 極端紫外線（EUV）透過性
溶融石英は、深紫外線（200 nm以下）を、ごくわずかな
吸収性が高く、UVリソグラフィ用マスクやエキシマレーザー用光学部品などに不可欠であり、,
および分光測定装置。従来のホウケイ酸ガラスは不透明になる
紫外線（UV）領域において。.
✓ 熱安定性および低い熱膨張係数（CTE）
熱膨張係数がほぼゼロ（0.5 × 10⁻⁶ /°C）であるため、寸法安定性が確保されます。
極端な温度範囲（–50 °C～1000+ °C）にわたる安定性。以下の用途に最適です。
高精度光学ベンチ、高温炉の窓、および熱画像
システム。.
✓ 優れた耐薬品性
溶融石英は、事実上すべての酸、アルカリ、および有機溶剤による腐食に耐性があります
フッ化水素酸を除く。この化学的惰性により、この材料が好んで用いられる
実験用ガラス器具、化学反応器、およびバイオ医薬品用処理容器。.
✓ 光学的な均一性と低い複屈折
屈折率の均一性を厳格に管理し、応力を最小限に抑えて製造されています
複屈折性において、溶融石英は広範囲にわたって一貫した光学性能を発揮します。
開口部――高精度撮像、干渉計、およびレーザービームの導出において極めて重要である。.
溶融石英の材質グレードおよび技術仕様
コーニング 7980（超低OH）
• 屈折率：1.45850（589 nm）
• 熱膨張率：0.5 × 10⁻⁶ /°C
• OH含有量：5 ppm未満（超低含有） • 透過率：95%以上（200～2500 nm）
• 密度：2.203 g/cm³
• 軟化点：1710 °C
• 用途：リソグラフィマスク、高精度光学素子、UVシステム
コーニング 7979（標準グレード）
• 屈折率：1.45850（589 nm）
• 熱膨張率：0.5 × 10⁻⁶ /°C
• OH含有量：50～200 ppm
• 透過率：> 92%（200～2500 nm）
• 密度：2.203 g/cm³
• 軟化点：1710 °C
• 用途：一般的な光学部品、実験用ガラス器具
ヘレウス・コヴァンティクス 312
• 屈折率：1.4585（波長 589 nm 時）
• 熱膨張率：0.5 × 10⁻⁶ /°C
• 気泡密度：0.1気泡/cm³未満 • 介在物含有量：ごくわずか • 透過率：95%以上（200～2500 nm）
• 均一性：屈折率 ±0.0001
• 用途：高出力レーザー用光学素子、精密光学システム
東ソー・クォーツ
• 屈折率：1.4585（波長 589 nm 時）
• 熱膨張率：0.5 × 10⁻⁶ /°C
• OH含有量：可変（低含有量から超低含有量のオプションあり）
• 透過率：93%以上（200～2500 nm）
• 純度：99.99%+ SiO₂
• 用途：半導体製造、分析機器
OHARA フューズド・クォーツ
• 屈折率：1.4585（波長 589 nm 時）
• 熱膨張率：0.5 × 10⁻⁶ /°C
• 特定の波長に合わせた最適化が可能
• 透過率：> 94%（200～2500 nm）
• 用途：レーザーおよび分光法に関する特殊な用途
モーメンティブ社製 溶融石英
• 屈折率：1.4585（波長 589 nm 時）
• 熱膨張率：0.5 × 10⁻⁶ /°C
• 赤外線透過型もご用意しています
• 透過率：> 95%（200～3000 nm）
• 用途：サーモグラフィ、赤外線光学
