SCHOTT® ZERODUR® 結晶化ガラス

SCHOTT® ZERODUR®は、寸法安定性が極めて重要となる精密光学、計測、半導体、および科学分野の用途に使用される、低熱膨張性のガラスセラミック材料です。熱膨張係数がほぼゼロであり、3次元方向の均一性が高く、内部欠陥が少ないため、温度変化のある環境下で使用されるミラー基板、基準部品、精密位置決め部品、および安定した構造部材に適しています。.

当社は、ZERODUR®ガラスセラミックについて、図面、寸法、平坦度、表面品質、および用途要件に基づき加工を行っています。代表的な加工には、切断、研削、研磨、穴あけ、ならびに光学、計測、半導体検査、および高安定性を要する工業用部品向けの精密加工などが含まれます。.

基本情報

品目	仕様
材料の種類	低膨張ガラスセラミック
ブランド	SCHOTT®
学年	ZERODUR®
構成の種類	リチウム・アルミニウム・シリコン酸化物ガラスセラミックス
外観	わずかに透明から琥珀色／黄色がかったガラスセラミック
密度	≈ 2.53 g/cm³

熱的特性

品目	仕様
CTEクラス	ニアゼロ拡張クラスが利用可能です
CTE 範囲 0～50°C	グレードに応じて、0 ± 0.007 ppm/K まで低下
代表的なCTE：20～300°C	≈ 0.05 × 10⁻⁶ /K
最大使用温度	約 600°C
熱伝導率	≈ 1.46 W/(m·K)
比熱	≈ 0.82 J/(g·K)

SCHOTT社の公式技術データでは、ZERODUR®を複数の熱膨張係数（CTE）許容範囲クラスに分類しており、その中には0 ± 0.100 ppm/K、0 ± 0.050 ppm/K、0 ± 0.020 ppm/Kのほか、厳しい要件が求められる用途向けのさらに厳しい許容範囲クラスも含まれています。.

寸法安定性

品目	仕様
熱膨張挙動	極めて低い／ゼロに近い
CTEの均質性	素材の体積全体を通じて優れている
長期的な安定性	高精度な基準部品に適しています
体積応力	低い（ブランクの仕様に依存）
内部品質	介在物、条痕、欠陥が少ない
温度感度	温度変化に伴う低次元変化

機械的特性

品目	仕様
ヤング率	≈ 90.3 GPa
ポアソン比	≈ 0.24
クノープ硬度	約 620 HK
密度	≈ 2.53 g/cm³
破壊挙動	高精度ガラスセラミック材料と同様
処理方法	ダイヤモンド研削、研磨、および精密加工

光学特性および表面特性

品目	仕様
光学用途	主にミラー基板および精密基準用途
外観	わずかに透き通った／琥珀色
表面仕上げ能力	研磨・磨き加工が可能
研磨性	高精度な光学面に適しています
コーティングの適合性	光学コーティング用基板に適しています
一般的な表面要件	引抜き加工による平坦度、表面粗さ、形状精度

SCHOTT社によると、ZERODUR®は、顧客の要望に合わせた形状に加工したり、非常に滑らかな表面に仕上げたりすることができ、ハイテクコーティングの基材としても使用できるという。.

化学的および材料の安定性

品目	仕様
化学的安定性	いいね
気孔率	非多孔質
ヘリウム透過性	低
耐湿性	安定した光学・計測用部品の製造に適しています
高周波耐性	かわいそうに、HFに襲われてしまった
洗浄時の適合性	制御された光学洗浄プロセスに適しています

代表的な用途

フィールド	用途
天文学	望遠鏡用鏡面基板および高精度光学ミラー
精密計測	基準板、計測用ベース、および校正用部品
半導体	検査工程、リソグラフィ関連の支持部品、および安定した光学構造
レーザーシステム	安定性の高いミラー基板および光学基準部品
航空宇宙・科学機器	寸法安定性に優れた構造部品および光学部品
産業用精密機器	低膨張性の位置決め部品および高安定性のプラットフォーム

ZERODUR®は、天文学をはじめ、温度変化下での幾何学的安定性が重要なその他の用途において、超高精度の鏡基板として広く知られています。.

カスタム処理オプション

処理要件	利用可能なオプション
形状処理	特注プレート、ディスク、ブロック、および成形部品
切断	図面に基づく切断・寸法調整
研削	エッジ研削、平面研削、および厚み管理
研磨	ご要望に応じた光学研磨または精密表面研磨
穴あけ／機械加工	設計に応じて、穴、スロット、およびCNC加工による形状
表面の要件	平面度、平行度、表面粗さおよびコーティング前の下地処理
検査	注文要件に基づく寸法および表面品質の検査