1. 기본 정보
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 재료 유형 | 합성 용융 실리카 |
| 브랜드 | 코닝® |
| 등급 | 7980 |
| 일반적인 OH 함량 | ≈ 800–1000 ppm |
| 밀도 | 2.20 g/cm³ |
2. 열적 특성
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| CTE (0–300°C) | 0.52 × 10⁻⁶ /°C |
| 연화점 | ≈ 1585°C |
| 어닐링점 | ≈ 1042°C |
| 변형점 | ≈ 893°C |
| 열전도도 | 1.38 W/(m·K) |
3. 기계적 특성
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 영의 계수 | 72.7 GPa |
| 전단 탄성계수 | 31.4 GPa |
| 푸아송 비 | 0.17 |
| 크누프 경도 | ≈ 522 kg/mm² |
| 굽힘 강도 | ≈ 70 MPa |
4. 광학적 특성
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 587.6 nm에서의 굴절률 | 1.4585 |
| 아베 수 | 67.8 |
| 변속 범위 | 180–2500 nm |
| 자외선 투과율 | 훌륭합니다 |
| 균질성 | Δn ≤ 1 × 10⁻⁶ |
5. 전기적 특성
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 유전율 (20°C, 1 MHz) | 3.75 |
| 손실 탄젠트 | ≈ 0.0001 |
| 부피 저항률 | > 10¹⁸ Ω·cm |
| 절연 내력 | ≈ 250–400 kV/cm |
6. 대표적인 응용 분야
| 분야 | 응용 분야 |
|---|---|
| 반도체 | 포토리소그래피 윈도우, 확산 튜브, 웨이퍼 캐리어 |
| 광학 | 자외선(UV) 광학 소자, 레이저 윈도우 |
| 레이저 | 193 nm / 248 nm 엑시머 레이저 광학 부품 |
| 항공우주 | 고안정성 광학 기판 |
