기본 정보
항목 사양 재료 유형 저팽창 유리세라믹 브랜드 SCHOTT® 등급 ZERODUR® 작품 유형 리튬-알루미늄-실리콘 산화물 유리 세라믹 외관 약간 투명한 것부터 호박색/노란빛을 띤 유리 세라믹 밀도 ≈ 2.53 g/cm³
열적 특성
항목 사양 CTE 수업 확장률이 거의 0에 가까운 클래스 이용 가능 CTE 범위 0–50°C 등급에 따라 0 ± 0.007 ppm/K까지 낮음 일반적인 CTE 20–300°C ≈ 0.05 × 10⁻⁶ /K 최대 사용 온도 ≈ 600°C 열전도도 ≈ 1.46 W/(m·K) 비열 ≈ 0.82 J/(g·K)
SCHOTT의 공식 기술 자료에 따르면, ZERODUR®는 0 ± 0.100 ppm/K, 0 ± 0.050 ppm/K, 0 ± 0.020 ppm/K를 비롯해 까다로운 용도를 위한 더 엄격한 등급까지 여러 열팽창계수(CTE) 허용 오차 등급으로 분류됩니다.
치수 안정성
항목 사양 열팽창 거동 극히 낮음 / 0에 가까운 CTE 균일성 전체 자료 분량에 걸쳐 훌륭함 장기적 안정성 고정밀 기준 부품에 적합합니다 집합 응력 낮음, 블랭크 사양에 따라 다름 내부 품질 내포물, 줄무늬 및 결함이 적음 온도 민감도 온도 변화에 따른 저차원 변화
기계적 특성
항목 사양 영의 계수 ≈ 90.3 GPa 푸아송 비 ≈ 0.24 크누프 경도 약 620 HK 밀도 ≈ 2.53 g/cm³ 파단 거동 정밀 유리-세라믹 소재와 유사한 가공 방법 다이아몬드 연마, 광택 처리 및 정밀 가공
광학적 및 표면 특성
항목 사양 광학 용도 주로 거울 기판 및 정밀 기준 용도로 사용됨 외관 약간 투명한 / 호박색을 띤 표면 마감 처리 능력 연마 및 광택 처리가 가능합니다 연마성 고정밀 광학 표면에 적합합니다 도장 호환성 광학 코팅 기판에 적합함 일반적인 표면 요구 사항 인발 성형에 의한 평탄도, 표면 거칠기 및 형상 정확도
SCHOTT는 ZERODUR®가 맞춤형 형태로 가공될 수 있고, 표면을 매우 매끄럽게 연마할 수 있으며, 첨단 코팅의 기판으로 사용될 수 있다고 밝혔습니다.
화학 및 재료 안정성
항목 사양 화학적 안정성 좋아요 다공성 비다공성 헬륨 투과도 낮음 내습성 안정적인 광학 및 계측 부품에 적합합니다 HF 내성 불쌍한 사람, HF의 공격을 받았다 세척 호환성 정밀 광학 세정 공정에 적합합니다
대표적인 적용 분야
분야 응용 분야 천문학 망원경 거울 기판 및 정밀 광학 거울 정밀 계측 기준판, 계측용 받침대 및 교정 부품 반도체 검사 단계, 리소그래피 관련 지지 부품 및 안정적인 광학 구조 레이저 시스템 안정적인 미러 기판 및 광학 기준 부품 항공우주 및 과학 계측기 치수 안정성이 뛰어난 구조용 및 광학 부품 산업용 정밀 장비 팽창 계수가 낮은 위치 결정 부품 및 고안정성 플랫폼
ZERODUR®는 천문학 분야는 물론, 온도 변화에도 기하학적 안정성이 중요한 기타 응용 분야에서 초정밀 거울 기판으로 널리 알려져 있습니다.
사용자 지정 처리 옵션
처리 요건 사용 가능한 옵션 형상 처리 맞춤형 플레이트, 디스크, 블록 및 성형 부품 절단 도면을 기반으로 한 절단 및 치수 조정 연삭 모서리 연삭, 평면 연삭 및 두께 제어 연마 요구 사항에 따른 광학 또는 정밀 표면 연마 천공 / 기계 가공 설계에 따라 구멍, 슬롯 및 CNC 가공 부위 표면 요구 사항 평탄도, 평행도, 표면 거칠기 및 코팅 전 처리 점검 주문 요구사항에 따른 치수 및 표면 품질 검사
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