Glaswerkstoffe
Glaskeramik
Quarzglas / Kieselglas
Borosilikatglas
Hitzebeständiges Glas / Hochtemperaturglas
Glas mit niedrigem Wärmeausdehnungskoeffizienten / Low-CTE-Glas
Ultradünnglas
Glas für die Halbleiterfertigung
Optisches Glas
Glasverarbeitung
Präzisionsätzen / Chemisches Ätzen
CNC-Bearbeitung von Glas
Glasbonding
Beidseitige Bearbeitung (Schleifen und Polieren)
Laserbearbeitung / Lasermikrobearbeitung
Glaszuschnitt
Optische Beschichtungen
Antireflexbeschichtung (AR)
Infrarot (IR)-Antireflexbeschichtung
Hydrophobe Beschichtung & Indium-Zinn-Oxid (ITO)
Metallisierung / Metallbeschichtung
Anti-Fingerabdruck-Beschichtung (AF)

Beidseitiges Glaspolieren zur Verbesserung der Oberflächenqualität

Das beidseitige Polieren wird eingesetzt, um beide Oberflächen von Präzisionsglas, Quarz, Quarzglas, Saphir, Silizium, Glaskeramik und optischen Substraten zu verbessern, bei denen strenge Anforderungen an Oberflächenqualität, Ebenheit, Parallelität und Dickenkontrolle gestellt werden. Mit einer erreichbaren Oberflächenrauheit unter 0,5 nm Ra, einem TTV unter 2 μm und einer Ebenheit von bis zu λ/4 oder besser, je nach Anforderung, eignet sich dieses Verfahren für hochpräzise Anwendungen in den Bereichen Optik, Halbleitertechnik, Lasertechnik, Messtechnik und Luft- und Raumfahrt.

Wir bieten maßgeschneiderte Dienstleistungen im Bereich der beidseitigen Politur für Prototypen und Serienfertigung an und unterstützen dabei Substratgrößen von 10 bis 300 mm sowie Dicken von 0,3 bis 50 mm. Die fertigen Teile können gemäß den Anforderungen der Zeichnung geliefert werden, wahlweise mit AR-, HR-, ITO- oder Metallbeschichtung sowie bei Bedarf mit Prüfunterlagen wie Messprotokollen und CoC.

Teilen:

Details – Einleitung

1. Prozessfähigkeiten

ArtikelSpezifikation
Oberflächenrauheit (Ra)< 0,5 nm
Gesamtdickenabweichung (TTV)< 2 μm
Parallelität< 10 Bogensekunden
Ebenheit (pro Oberfläche)< λ/4 bei 633 nm
Durchmesserbereich des Substrats10–300 mm
Dickenbereich0,3–50 mm

2. Kompatible Materialien

Material
Quarzglas
Quarzglas
Borosilikatglas
Saphir
Silizium
Glaskeramik
Optisches Glas
BK7
CaF₂
MgF₂
ZnSe
Germanium

3. Normen für Oberflächenbeschaffenheit

ArtikelSpezifikation
Kratz- und Grabprüfung (MIL-PRF-13830B)10-5 / 20-10 / 40-20
Oberflächenrauheit (Rq / RMS)< 1 nm RMS
Ebenheitλ/10 – λ/4 bei 633 nm
PrüfverfahrenInterferometrie / Profilometrie
SauberkeitsstandardReinraum der ISO-Klasse 5

4. Typische Anwendungsbereiche

FeldAnwendung
LaseroptikLaserfenster und Ausgangskoppler
HalbleiterOptische Substrate auf Wafer-Ebene
MesstechnikReferenzplatten und Etalons
BildgebungPräzisionsfiltersubstrate
Verteidigung und Luft- und RaumfahrtIR-Fenster und Sensor-Fenster

5. Kundenspezifische Anforderungen

ArtikelSpezifikation
Akzeptierte ZeichnungsformateDWG / DXF / PDF / STEP
Mindestbestellmenge1 Stück (Prototyp akzeptiert)
Standard-Lieferzeit7–15 Werktage
Beschichtung erhältlichAR / HR / ITO / Metallbeschichtung
QualitätsdokumentationPrüfbericht und Konformitätsbescheinigung verfügbar

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