1. Grundlegende Informationen
| Artikel | Spezifikation |
|---|---|
| Materialart | Synthetisches Quarzglas |
| Marke | SCHOTT® |
| Note | Lithosil Q |
| Typischer OH-Gehalt | ≈ 600–1200 ppm (hoher OH-Gehalt) |
| Dichte | 2,20 g/cm³ |
2. Mechanical Properties
| Artikel | Spezifikation |
|---|---|
| Elastizitätsmodul | 72,7 GPa |
| Schermodul | 31,4 GPa |
| Poisson-Zahl | 0.17 |
| Knoop-Härte | ≈ 522 kg/mm² |
| Biegefestigkeit | ≈ 67 MPa |
3. Thermal Properties
| Artikel | Spezifikation |
|---|---|
| CTE (0–300 °C) | 0,51 × 10⁻⁶ /°C |
| Erweichungspunkt | ≈ 1585 °C |
| Glühepunkt | ≈ 1042 °C |
| Dehnungspunkt | ≈ 890 °C |
| Wärmeleitfähigkeit | 1,38 W/(m·K) |
4. Optische Eigenschaften
| Artikel | Spezifikation |
|---|---|
| Brechungsindex bei 587,6 nm | 1.4585 |
| Abbe-Zahl | 67.8 |
| Übertragungsreichweite | 170–2500 nm |
| UV-Durchlässigkeit | Hervorragend (Tief-UV) |
| Homogenität | Δn ≤ 1 × 10⁻⁶ |
5. Chemical Purity
| Artikel | Spezifikation |
|---|---|
| SiO₂-Gehalt | > 99,99% |
| Metallverunreinigungen | < 1 ppm (insgesamt) |
| Blasen und Einschlüsse | Extrem niedrig |
| Chemikalienbeständigkeit | Hervorragend (außer HF) |
6. Typische Anwendungsbereiche
| Feld | Anwendung |
|---|---|
| Halbleiter | Photolithography Optics, Process Windows |
| Laser | 193 nm / 248 nm Excimer Laser Optics |
| Astronomie | Telescope Lenses & Mirror Substrates |
| Wissenschaftlich | UV Spectroscopy & High-End Instrumentation |
7. UV-Grade Fused Silica — Grade Comparison
| Eigenschaft | SCHOTT® Lithosil Q | Corning® 7980 | Heraeus® Suprasil 1 | Tosoh® ES-2000 |
|---|---|---|---|---|
| Materialart | Synthetisches Quarzglas | Synthetisches Quarzglas | Synthetisches Quarzglas | Synthetisches Quarzglas |
| OH Content | 600–1200 ppm | 800–1000 ppm | 600–1200 ppm | 600–1000 ppm |
| Übertragungsreichweite | 170–2500 nm | 180–2500 nm | 170–2500 nm | 170–2500 nm |
| Homogeneity (Δn) | ≤ 1 × 10⁻⁶ | ≤ 1 × 10⁻⁶ | ≤ 1 × 10⁻⁶ | ≤ 2 × 10⁻⁶ |
| CTE (0–300 °C) | 0,51 × 10⁻⁶ /°C | 0.52 × 10⁻⁶ /°C | 0,51 × 10⁻⁶ /°C | 0,51 × 10⁻⁶ /°C |
| Elastizitätsmodul | 72,7 GPa | 72,7 GPa | 72,7 GPa | 72,5 GPa |
| SiO₂ Purity | > 99,99% | > 99,99% | > 99,99% | > 99,99% |
| Herkunft der Marke | Deutschland | USA | Deutschland | Japan |
| Branchenstärke | Precision Optics & Astronomy | Semiconductor & UV Laser | European Optics & Laser | Semiconductor & Asia-Pacific |

