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SCHOTT® Lithosil Q – synthetisches Quarzglas

SCHOTT® Lithosil Q is a high-purity synthetic fused silica material designed for demanding UV, optical, semiconductor, laser and scientific applications. With high SiO₂ purity above 99.99%, excellent deep-UV transmission from 170–2500 nm, low thermal expansion of 0.51 × 10⁻⁶ /°C and strong optical homogeneity up to Δn ≤ 1 × 10⁻⁶, Lithosil Q is suitable for precision components that require stable optical performance, low impurity levels and reliable resistance to thermal stress.

We supply customized SCHOTT® Lithosil Q fused silica components according to drawings, dimensions, thickness requirements and application conditions. Typical products include UV optical windows, semiconductor process windows, excimer laser optics, spectroscopy components, telescope lenses, mirror substrates and other high-precision fused silica parts for optical and industrial projects.

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Details – Einleitung

1. Grundlegende Informationen

ArtikelSpezifikation
MaterialartSynthetisches Quarzglas
MarkeSCHOTT®
NoteLithosil Q
Typischer OH-Gehalt≈ 600–1200 ppm (hoher OH-Gehalt)
Dichte2,20 g/cm³

2. Mechanical Properties

ArtikelSpezifikation
Elastizitätsmodul72,7 GPa
Schermodul31,4 GPa
Poisson-Zahl0.17
Knoop-Härte≈ 522 kg/mm²
Biegefestigkeit≈ 67 MPa

3. Thermal Properties

ArtikelSpezifikation
CTE (0–300 °C)0,51 × 10⁻⁶ /°C
Erweichungspunkt≈ 1585 °C
Glühepunkt≈ 1042 °C
Dehnungspunkt≈ 890 °C
Wärmeleitfähigkeit1,38 W/(m·K)

4. Optische Eigenschaften

ArtikelSpezifikation
Brechungsindex bei 587,6 nm1.4585
Abbe-Zahl67.8
Übertragungsreichweite170–2500 nm
UV-DurchlässigkeitHervorragend (Tief-UV)
HomogenitätΔn ≤ 1 × 10⁻⁶

5. Chemical Purity

ArtikelSpezifikation
SiO₂-Gehalt> 99,99%
Metallverunreinigungen< 1 ppm (insgesamt)
Blasen und EinschlüsseExtrem niedrig
ChemikalienbeständigkeitHervorragend (außer HF)

6. Typische Anwendungsbereiche

FeldAnwendung
HalbleiterPhotolithography Optics, Process Windows
Laser193 nm / 248 nm Excimer Laser Optics
AstronomieTelescope Lenses & Mirror Substrates
WissenschaftlichUV Spectroscopy & High-End Instrumentation

7. UV-Grade Fused Silica — Grade Comparison

EigenschaftSCHOTT® Lithosil QCorning® 7980Heraeus® Suprasil 1Tosoh® ES-2000
MaterialartSynthetisches QuarzglasSynthetisches QuarzglasSynthetisches QuarzglasSynthetisches Quarzglas
OH Content600–1200 ppm800–1000 ppm600–1200 ppm600–1000 ppm
Übertragungsreichweite170–2500 nm180–2500 nm170–2500 nm170–2500 nm
Homogeneity (Δn)≤ 1 × 10⁻⁶≤ 1 × 10⁻⁶≤ 1 × 10⁻⁶≤ 2 × 10⁻⁶
CTE (0–300 °C)0,51 × 10⁻⁶ /°C0.52 × 10⁻⁶ /°C0,51 × 10⁻⁶ /°C0,51 × 10⁻⁶ /°C
Elastizitätsmodul72,7 GPa72,7 GPa72,7 GPa72,5 GPa
SiO₂ Purity> 99,99%> 99,99%> 99,99%> 99,99%
Herkunft der MarkeDeutschlandUSADeutschlandJapan
BranchenstärkePrecision Optics & AstronomySemiconductor & UV LaserEuropean Optics & LaserSemiconductor & Asia-Pacific

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