SCHOTT® ZERODUR® ist ein Glaskeramikwerkstoff mit geringer Wärmeausdehnung, der in der Präzisionsoptik, Messtechnik, Halbleiterindustrie und in wissenschaftlichen Anwendungen zum Einsatz kommt, bei denen Formstabilität von entscheidender Bedeutung ist. Sein nahezu null gleicher Wärmeausdehnungskoeffizient, seine hohe 3D-Homogenität und sein geringer Anteil an inneren Defekten machen es geeignet für Spiegelsubstrate, Referenzkomponenten, Präzisionspositionierteile und stabile Strukturelemente, die unter wechselnden Temperaturbedingungen eingesetzt werden.
Wir bearbeiten ZERODUR®-Glaskeramik gemäß Zeichnungen, Maßangaben, Ebenheitsanforderungen, Oberflächenqualitätsvorgaben und Anwendungsanforderungen. Zu den typischen Bearbeitungsverfahren zählen Schneiden, Schleifen, Polieren, Bohren sowie die Präzisionsfertigung für optische Komponenten, messtechnische Anwendungen, die Halbleiterprüfung und hochstabile Industriekomponenten.
Leicht durchscheinend bis bernsteinfarben / gelblich – Glaskeramik
Dichte
≈ 2,53 g/cm³
Thermische Eigenschaften
Artikel
Spezifikation
CTE-Kurs
Kurse mit nahezu null Ausdehnung verfügbar
CTE-Bereich 0–50 °C
Bis zu 0 ± 0,007 ppm/K, je nach Güteklasse
Typischer CTE 20–300 °C
≈ 0,05 × 10⁻⁶ /K
Maximale Anwendungstemperatur
≈ 600 °C
Wärmeleitfähigkeit
≈ 1,46 W/(m·K)
Spezifische Wärmekapazität
≈ 0,82 J/(g·K)
In den offiziellen technischen Daten von SCHOTT wird ZERODUR® in mehrere CTE-Toleranzklassen unterteilt, darunter 0 ± 0,100 ppm/K, 0 ± 0,050 ppm/K, 0 ± 0,020 ppm/K sowie noch engere Klassen für anspruchsvolle Anwendungen.
Formstabilität
Artikel
Spezifikation
Wärmeausdehnungsverhalten
Extrem niedrig / Nahezu null
CTE-Homogenität
Hervorragend über den gesamten Materialbereich hinweg
Langfristige Stabilität
Geeignet für hochpräzise Referenzkomponenten
Volumenstress
Niedrig, abhängig von der Spezifikation des Rohlings
Interne Qualität
Geringe Einschlüsse, Streifen und Fehler
Temperaturempfindlichkeit
Geringe Dimensionsänderung bei Temperaturschwankungen
Mechanische Eigenschaften
Artikel
Spezifikation
Elastizitätsmodul
≈ 90,3 GPa
Poisson-Zahl
≈ 0,24
Knoop-Härte
≈ 620 HK
Dichte
≈ 2,53 g/cm³
Bruchverhalten
Ähnlich wie Präzisionsglaskeramikmaterialien
Verarbeitungsverfahren
Diamantschleifen, Polieren und Präzisionsbearbeitung
Optische und Oberflächeneigenschaften
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Spezifikation
Optische Verwendung
Vorwiegend zur Verwendung als Spiegelsubstrat und als Präzisionsreferenz
Äußeres Erscheinungsbild
Leicht durchscheinend / bernsteinfarben
Möglichkeiten der Oberflächenbearbeitung
Kann geschliffen und poliert werden
Polierbarkeit
Geeignet für hochpräzise optische Oberflächen
Verträglichkeit mit Beschichtungen
Geeignet für Substrate zur optischen Beschichtung
Typische Anforderungen an die Oberfläche
Ebenheit, Rauheit und Formgenauigkeit beim Ziehen
SCHOTT weist darauf hin, dass ZERODUR® zu maßgeschneiderten Formen verarbeitet, zu sehr glatten Oberflächen poliert und als Substrat für Hightech-Beschichtungen verwendet werden kann.
Chemische und werkstoffliche Beständigkeit
Artikel
Spezifikation
Chemische Stabilität
Gut
Porosität
Nicht porös
Heliumdurchlässigkeit
Niedrig
Feuchtigkeitsbeständigkeit
Geeignet für stabile optische und messtechnische Bauteile
HF-Widerstand
Armer, von HF angegriffen
Reinigungskompatibilität
Geeignet für kontrollierte optische Reinigungsprozesse
Typische Anwendungsbereiche
Feld
Anwendung
Astronomie
Substrate für Teleskopspiegel und präzise optische Spiegel
Messtechnik
Referenzplatten, Messgrundplatten und Kalibrierkomponenten
Halbleiter
Prüfstufen, lithografische Stützteile und stabile optische Strukturen
Lasersysteme
Stabile Spiegelsubstrate und optische Referenzkomponenten
Luft- und Raumfahrt sowie wissenschaftliche Instrumente
Formstabile Konstruktions- und Optikteile
Präzisionsgeräte für die Industrie
Positionierteile mit geringer Ausdehnung und hochstabile Plattformen
ZERODUR® wird häufig mit hochpräzisen Spiegelsubstraten in der Astronomie und anderen Anwendungsbereichen in Verbindung gebracht, in denen die geometrische Stabilität bei Temperaturschwankungen von Bedeutung ist.
Individuelle Verarbeitungsoptionen
Verarbeitungsanforderung
Verfügbare Optionen
Formverarbeitung
Maßgefertigte Platten, Scheiben, Blöcke und Formteile
Schneiden
Schneiden und Zuschneiden anhand von Zeichnungen
Schleifen
Kantenschleifen, Flachschleifen und Dickenkontrolle
Polieren
Optisches oder präzises Oberflächenpolieren je nach Bedarf
Bohren / Zerspanung
Bohrungen, Schlitze und CNC-Bearbeitungen je nach Konstruktion
Anforderungen an die Oberfläche
Ebenheit, Parallelität, Oberflächenrauheit und Vorbereitung der Beschichtung
Prüfung
Prüfung der Maß- und Oberflächenqualität gemäß den Auftragsanforderungen
CTA auf der Seite mit den Produktempfehlungen
Teilen Sie uns Ihre Anforderungen an ZERODUR®-Glaskeramik mit, einschließlich Materialgüte, Abmessungen, Dicke, Zeichnung, Oberflächenqualität, Ebenheit, Menge und Einsatzbedingungen. Wir prüfen die Verarbeitbarkeit und unterbreiten Ihnen ein individuelles Angebot auf der Grundlage Ihrer Anforderungen an Präzisionsteile.
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