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Metallisierung / Metallbeschichtung
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SCHOTT® ZERODUR® Glaskeramik

SCHOTT® ZERODUR® ist ein Glaskeramikwerkstoff mit geringer Wärmeausdehnung, der in der Präzisionsoptik, Messtechnik, Halbleiterindustrie und in wissenschaftlichen Anwendungen zum Einsatz kommt, bei denen Formstabilität von entscheidender Bedeutung ist. Sein nahezu null gleicher Wärmeausdehnungskoeffizient, seine hohe 3D-Homogenität und sein geringer Anteil an inneren Defekten machen es geeignet für Spiegelsubstrate, Referenzkomponenten, Präzisionspositionierteile und stabile Strukturelemente, die unter wechselnden Temperaturbedingungen eingesetzt werden.

Wir bearbeiten ZERODUR®-Glaskeramik gemäß Zeichnungen, Maßangaben, Ebenheitsanforderungen, Oberflächenqualitätsvorgaben und Anwendungsanforderungen. Zu den typischen Bearbeitungsverfahren zählen Schneiden, Schleifen, Polieren, Bohren sowie die Präzisionsfertigung für optische Komponenten, messtechnische Anwendungen, die Halbleiterprüfung und hochstabile Industriekomponenten.

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Details – Einleitung

Grundlegende Informationen

ArtikelSpezifikation
MaterialartGlaskeramik mit geringer Ausdehnung
MarkeSCHOTT®
NoteZERODUR®
Art der KompositionGlaskeramik aus Lithium-Aluminium-Siliziumoxid
AussehenLeicht durchscheinend bis bernsteinfarben / gelblich – Glaskeramik
Dichte≈ 2,53 g/cm³

Thermische Eigenschaften

ArtikelSpezifikation
CTE-KursKurse mit nahezu null Ausdehnung verfügbar
CTE-Bereich 0–50 °CBis zu 0 ± 0,007 ppm/K, je nach Güteklasse
Typischer CTE 20–300 °C≈ 0,05 × 10⁻⁶ /K
Maximale Anwendungstemperatur≈ 600 °C
Wärmeleitfähigkeit≈ 1,46 W/(m·K)
Spezifische Wärmekapazität≈ 0,82 J/(g·K)

In den offiziellen technischen Daten von SCHOTT wird ZERODUR® in mehrere CTE-Toleranzklassen unterteilt, darunter 0 ± 0,100 ppm/K, 0 ± 0,050 ppm/K, 0 ± 0,020 ppm/K sowie noch engere Klassen für anspruchsvolle Anwendungen.


Formstabilität

ArtikelSpezifikation
WärmeausdehnungsverhaltenExtrem niedrig / Nahezu null
CTE-HomogenitätHervorragend über den gesamten Materialbereich hinweg
Langfristige StabilitätGeeignet für hochpräzise Referenzkomponenten
VolumenstressNiedrig, abhängig von der Spezifikation des Rohlings
Interne QualitätGeringe Einschlüsse, Streifen und Fehler
TemperaturempfindlichkeitGeringe Dimensionsänderung bei Temperaturschwankungen

Mechanische Eigenschaften

ArtikelSpezifikation
Elastizitätsmodul≈ 90,3 GPa
Poisson-Zahl≈ 0,24
Knoop-Härte≈ 620 HK
Dichte≈ 2,53 g/cm³
BruchverhaltenÄhnlich wie Präzisionsglaskeramikmaterialien
VerarbeitungsverfahrenDiamantschleifen, Polieren und Präzisionsbearbeitung

Optische und Oberflächeneigenschaften

ArtikelSpezifikation
Optische VerwendungVorwiegend zur Verwendung als Spiegelsubstrat und als Präzisionsreferenz
Äußeres ErscheinungsbildLeicht durchscheinend / bernsteinfarben
Möglichkeiten der OberflächenbearbeitungKann geschliffen und poliert werden
PolierbarkeitGeeignet für hochpräzise optische Oberflächen
Verträglichkeit mit BeschichtungenGeeignet für Substrate zur optischen Beschichtung
Typische Anforderungen an die OberflächeEbenheit, Rauheit und Formgenauigkeit beim Ziehen

SCHOTT weist darauf hin, dass ZERODUR® zu maßgeschneiderten Formen verarbeitet, zu sehr glatten Oberflächen poliert und als Substrat für Hightech-Beschichtungen verwendet werden kann.


Chemische und werkstoffliche Beständigkeit

ArtikelSpezifikation
Chemische StabilitätGut
PorositätNicht porös
HeliumdurchlässigkeitNiedrig
FeuchtigkeitsbeständigkeitGeeignet für stabile optische und messtechnische Bauteile
HF-WiderstandArmer, von HF angegriffen
ReinigungskompatibilitätGeeignet für kontrollierte optische Reinigungsprozesse

Typische Anwendungsbereiche

FeldAnwendung
AstronomieSubstrate für Teleskopspiegel und präzise optische Spiegel
MesstechnikReferenzplatten, Messgrundplatten und Kalibrierkomponenten
HalbleiterPrüfstufen, lithografische Stützteile und stabile optische Strukturen
LasersystemeStabile Spiegelsubstrate und optische Referenzkomponenten
Luft- und Raumfahrt sowie wissenschaftliche InstrumenteFormstabile Konstruktions- und Optikteile
Präzisionsgeräte für die IndustriePositionierteile mit geringer Ausdehnung und hochstabile Plattformen

ZERODUR® wird häufig mit hochpräzisen Spiegelsubstraten in der Astronomie und anderen Anwendungsbereichen in Verbindung gebracht, in denen die geometrische Stabilität bei Temperaturschwankungen von Bedeutung ist.


Individuelle Verarbeitungsoptionen

VerarbeitungsanforderungVerfügbare Optionen
FormverarbeitungMaßgefertigte Platten, Scheiben, Blöcke und Formteile
SchneidenSchneiden und Zuschneiden anhand von Zeichnungen
SchleifenKantenschleifen, Flachschleifen und Dickenkontrolle
PolierenOptisches oder präzises Oberflächenpolieren je nach Bedarf
Bohren / ZerspanungBohrungen, Schlitze und CNC-Bearbeitungen je nach Konstruktion
Anforderungen an die OberflächeEbenheit, Parallelität, Oberflächenrauheit und Vorbereitung der Beschichtung
PrüfungPrüfung der Maß- und Oberflächenqualität gemäß den Auftragsanforderungen

CTA auf der Seite mit den Produktempfehlungen

Teilen Sie uns Ihre Anforderungen an ZERODUR®-Glaskeramik mit, einschließlich Materialgüte, Abmessungen, Dicke, Zeichnung, Oberflächenqualität, Ebenheit, Menge und Einsatzbedingungen. Wir prüfen die Verarbeitbarkeit und unterbreiten Ihnen ein individuelles Angebot auf der Grundlage Ihrer Anforderungen an Präzisionsteile.

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