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Silice fondue synthétique Heraeus® Suprasil 1

Heraeus® Suprasil 1 est un matériau à base de silice fondue synthétique de haute pureté destiné à des applications exigeantes dans les domaines de l'optique UV, des semi-conducteurs, des lasers et de l'instrumentation scientifique. Avec une pureté en SiO₂ supérieure à 99,991 %, une excellente transmission dans l'ultraviolet profond (170–2 500 nm), un faible coefficient de dilatation thermique de 0,51 × 10⁻⁶ /°C et une homogénéité optique allant jusqu’à Δn ≤ 1 × 10⁻⁶, le Suprasil 1 convient aux composants de précision qui exigent une transmission UV stable, de faibles niveaux d’impuretés et des performances fiables sous contrainte thermique ou optique.

Nous fournissons des composants en silice fondue Heraeus® Suprasil 1 sur mesure, conformément aux plans, aux dimensions, à l'épaisseur, à la qualité de surface et aux exigences d'application. Parmi nos produits phares, on trouve des optiques de photolithographie, des fenêtres pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs, des optiques pour lasers excimères à 193 nm / 248 nm, des lentilles UV, des prismes, des fenêtres optiques, des miroirs, des composants de spectroscopie et d'autres pièces de précision en silice fondue destinées à des projets optiques et industriels.

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Détails - Introduction

1. Informations générales

ArticleCaractéristiques techniques
Type de matériauSilice fondue synthétique
MarqueHeraeus®
NiveauSuprasil 1
Teneur typique en OH≈ 600 à 1 200 ppm (teneur élevée en OH)
Densité2,20 g/cm³

2. Propriétés thermiques

ArticleCaractéristiques techniques
CTE (0–300 °C)0,51 × 10⁻⁶ /°C
Point de ramollissement≈ 1 585 °C
Point de recuit≈ 1 042 °C
Point de déformation≈ 890 °C
Conductivité thermique1,38 W/(m·K)

3. Propriétés mécaniques

ArticleCaractéristiques techniques
Module d'Young72,7 GPa
Module de cisaillement31,4 GPa
Coefficient de Poisson0.17
Dureté Knoop≈ 522 kg/mm²
Résistance à la flexion≈ 67 MPa

4. Propriétés optiques

ArticleCaractéristiques techniques
Indice de réfraction à 587,6 nm1.4585
Nombre d'Abbe67.8
Plage de transmission170–2 500 nm
Transmission des UVExcellent (UV profond)
HomogénéitéΔn ≤ 1 × 10⁻⁶

5. Propriétés électriques

ArticleCaractéristiques techniques
Constante diélectrique (20 °C, 1 MHz)3.75
Tangente de perte≈ 0,0001
Résistivité volumique> 10¹⁸ Ω·cm
Rigidité diélectrique≈ 250 à 400 kV/cm

6. Pureté chimique

ArticleCaractéristiques techniques
Teneur en SiO₂> 99,99%
Impuretés métalliques< 1 ppm (total)
Bulles et inclusionsExtrêmement bas
Résistance chimiqueExcellent (sauf HF)

7. Applications typiques

ChampApplications
Semi-conducteurOptique de photolithographie, plages de processus
LaserOptiques pour laser à excimère de 193 nm / 248 nm
OptiqueLentilles, prismes, fenêtres et miroirs UV
ScientifiqueInstrumentation de spectroscopie, de fluorescence et d'UV

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