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Silice fondue synthétique Tosoh® ES-2000

Le Tosoh® ES-2000 est un matériau à base de silice fondue synthétique de haute pureté destiné à l'optique UV, aux composants utilisés dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, aux fenêtres de lasers à excimère et aux composants de métrologie de précision. Avec une transmission comprise entre 170 et 2 500 nm, un faible coefficient de dilatation thermique de 0,51 × 10⁻⁶ /°C et une pureté en SiO₂ supérieure à 99,991 %, il convient aux composants nécessitant des performances UV stables, de faibles niveaux d’impuretés et un contrôle dimensionnel fiable.

Nous traitons la silice fondue Tosoh® ES-2000 conformément aux plans, aux épaisseurs, à la qualité de surface et aux exigences liées à l'application, notamment par découpe, meulage, polissage et perçage.

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Détails - Introduction

1. Informations générales

Article	Caractéristiques techniques
Type de matériau	Silice fondue synthétique
Marque	Tosoh®
Niveau	ES-2000
Teneur typique en OH	≈ 600 à 1 000 ppm (teneur élevée en OH)
Densité	2,20 g/cm³

2. Propriétés thermiques

Article	Caractéristiques techniques
CTE (0–300 °C)	0,51 × 10⁻⁶ /°C
Point de ramollissement	≈ 1 585 °C
Point de recuit	≈ 1 042 °C
Point de déformation	≈ 890 °C
Conductivité thermique	1,38 W/(m·K)

3. Propriétés mécaniques

Article	Caractéristiques techniques
Module d'Young	72,5 GPa
Module de cisaillement	31,2 GPa
Coefficient de Poisson	0.17
Dureté Knoop	≈ 520 kg/mm²
Résistance à la flexion	≈ 65 MPa

4. Propriétés optiques

Article	Caractéristiques techniques
Indice de réfraction à 587,6 nm	1.4584
Nombre d'Abbe	67.7
Plage de transmission	170–2 500 nm
Transmission des UV	Excellent (UV profond)
Homogénéité	Δn ≤ 2 × 10⁻⁶

5. Propriétés électriques

Article	Caractéristiques techniques
Constante diélectrique (20 °C, 1 MHz)	3.75
Tangente de perte	≈ 0,0001
Résistivité volumique	> 10¹⁸ Ω·cm
Rigidité diélectrique	≈ 250 à 400 kV/cm

6. Pureté chimique

Article	Caractéristiques techniques
Teneur en SiO₂	> 99,99%
Impuretés métalliques	< 1 ppm (total)
Bulles et inclusions	Extrêmement bas
Résistance chimique	Excellent (sauf HF)

7. Applications typiques

Champ	Applications
Semi-conducteur	Fenêtres de photolithographie, tubes de diffusion, porte-plaquettes
Optique	Éléments optiques UV, lentilles de précision
Laser	Optique pour laser excimère, fenêtres pour laser UV
Métrologie	Étalons de référence, étalons optiques