CNCフライス加工とは？
ガラスや脆性材料に対するCNCフライス加工は、回転するダイヤモンドコーティングまたはダイヤモンド焼結加工用切削工具を用いて材料を削り取り、ポケット、溝、段差、面取り、自由曲面などの複雑な3D形状を形成する切削加工プロセスです。 工具が材料をせん断する従来の金属フライス加工とは異なり、脆性材料のフライス加工では、工具とワークピースの接触面における制御された微小破断と研磨作用に依存しており、切削屑を洗い流し、熱応力を防止するために冷却液を連続的に供給します。 最新の5軸CNCプラットフォームでは、多軸同時工具位置決めが可能であり、1回のセットアップでアンダーカット、傾斜面、自由曲面を加工することができます。CNCフライス加工は、マイクロ流体デバイスの製造、光学マウント本体、半導体プロセス用部品、および硬質で脆い基板に複雑な3D形状を必要とするあらゆる用途において不可欠です。.
プロセス能力
- 特徴の許容値： ±5 µm（高精度）；±20 µm（標準）
- 最小特徴サイズ： 肉厚 0.2 mm / 流路幅 0.3 mm
- 最大部品サイズ： 500 × 500 × 200 mm（XYZ方向の加工範囲）
- 位置精度： ワーク全体で±3 µm
- Axisの設定： 3軸、4軸、および完全な5軸同時加工
- 表面粗さ（Ra）： 0.4～0.8 µm（粉砕直後）；0.05 µm（研磨後）
- 再現性： ロット間±2 µm
対応素材
| 1 | 溶融石英 | コーニング 7980 / 東ソー ES-2000 |
| 2 | 石英ガラス | SCHOTT Lithosil Q / Heraeus Suprasil 1 |
| 3 | ホウケイ酸ガラス | パイレックス 7740 / ボロフロート 33 |
| 4 | ソーダ・ライムガラス | フロートガラス／強化ガラス |
| 5 | サファイア | C面／A面 |
| 6 | 結晶化ガラス | ZERODUR / PYROCERAM 9606 / MACOR |
| 7 | 光学ガラス | BK7 / N-BK7 |
| 8 | 工業用セラミックス | Al₂O₃ / AlN / Si₃N₄ / ZrO₂ |
| 9 | シリコン | フロートゾーン／チョクラルスキー法 |
| 10 | CaF₂ | UV対応グレード／IR対応グレード |
| 11 | ゲルマニウム | 単結晶／多結晶 |
フィーチャタイプと形状
- ポケットと空洞： 幅0.3 mmまでの平底、段付き、および自由形状の凹み
- チャンネルと溝： マイクロ流体工学用の直線、曲線、および蛇行状の流路
- ステップとショルダー： 鋭角または丸みを帯びたエッジを持つ多段構造
- 面取りとフィレット： C0.1からC5.0までのエッジコンディショニング
- 自由曲面： レンズマウントおよび光学ハウジング用の3D成形表面
- アンダーカット： サイドマウント式工具を用いた完全な5軸アンダーカット加工
- 外形： 複雑な周囲形状の測定と非矩形の輪郭
代表的な用途
- マイクロ流体チップ： 蛇行流路、混合室、および試薬ウェル
- 光学マウント本体： 高精度レンズバレルおよびミラー取付基板
- 半導体キャリア： 真空チャネルおよび位置合わせ用ポケットを備えたウェーハハンドリング用治具
- レーザー共振器構成部品： 融着石英における冷却水路および取り付け部
- 航空宇宙用光学機器： ポケットミル加工を施した背面構造を持つ軽量ミラー基板
- 科学機器： 特注チャンバー、フローセル、およびフィードスルーハウジング
カスタム仕様
当社は、単体の試作品から量産ロットに至るまで、CNCフライス加工の受注を承っております。STEP、IGES、またはネイティブCADファイルに基づくCAD駆動型製造を全面的にサポートしています。 カスタムワークフローには、1回のセットアップでフライス加工と穴あけ、輪郭加工、溝切りを組み合わせた統合加工に加え、エッジ研磨、化学エッチング、ARコーティング、およびCMMによる全面検査などの加工後処理サービスも含まれます。 すべてのフライス加工部品には、寸法報告書、表面粗さ測定値、および材料トレーサビリティに関する文書を添付して納品いたします。高精度光学部品については、λ/10の表面形状精度要件を満たすため、フライス加工後のラッピングおよび研磨も提供しております。.
フライス加工能力マップ：加工寸法対深さ
