1. プロセス能力
| 品目 | 仕様 |
|---|---|
| 表面粗さ(Ra) | < 0.5 nm |
| 総厚みばらつき(TTV) | < 2 μm |
| 並列処理 | < 10 秒角 |
| 平坦度(各面ごと) | < λ/4 @ 633 nm |
| 基板の直径範囲 | 10~300 mm |
| 厚さの範囲 | 0.3~50 mm |
2. 対応素材
| 素材 |
|---|
| 溶融石英 |
| 石英ガラス |
| ホウケイ酸ガラス |
| サファイア |
| シリコン |
| 結晶化ガラス |
| 光学ガラス |
| BK7 |
| CaF₂ |
| MgF₂ |
| ZnSe |
| ゲルマニウム |
3. 表面仕上げの基準
| 品目 | 仕様 |
|---|---|
| スクラッチ・ディグ(MIL-PRF-13830B) | 10-5 / 20-10 / 40-20 |
| 表面粗さ(Rq/RMS) | < 1 nm RMS |
| 平坦度 | λ/10 – λ/4 @ 633 nm |
| 検査方法 | 干渉法/プロファイル測定 |
| 清潔さの基準 | ISOクラス5のクリーンルーム |
4. 代表的な用途
| フィールド | 用途 |
|---|---|
| レーザー光学 | レーザー用ウィンドウおよび出力カプラー |
| 半導体 | ウェハーレベルの光学基板 |
| 計量学 | 基準フラットおよびエタロン |
| 画像処理 | 精密フィルター基材 |
| 防衛・航空宇宙 | IRウィンドウおよびセンサーウィンドウ |
5. カスタム仕様
| 品目 | 仕様 |
|---|---|
| 対応している図面形式 | DWG / DXF / PDF / STEP |
| 最小注文数量 | 1個(試作品可) |
| 標準リードタイム | 7~15営業日 |
| コーティング対応 | AR/HR/ITO/金属コーティング |
| 高品質なドキュメント | 検査報告書およびCoCをご用意しております |


