ガラス材料
結晶化ガラス
石英ガラス/溶融石英
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耐熱ガラス/高温用ガラス
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ガラス加工
精密エッチング/化学エッチング
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ガラス接合
両面研削・研磨
レーザー加工/レーザー微細加工
ガラス切断
光学コーティング
反射防止(AR)コーティング
赤外線(IR)反射防止コーティング
撥水コーティングと酸化インジウムスズ(ITO)
金属コーティング(メタライズ)
指紋防止(AF)コーティング

表面品質向上のための両面ガラス研磨

両面研磨は、厳格な表面品質、平坦度、平行度、および厚み管理が求められる精密ガラス、石英、溶融石英、サファイア、シリコン、ガラスセラミック、および光学基板の両面を加工するために用いられます。 Ra 0.5 nm未満の表面粗さ、2 μm未満のTTV、および要件に応じてλ/4以上の平坦度を実現できるため、このプロセスは、高精度な光学、半導体、レーザー、計測、航空宇宙分野の用途に適しています。.

当社は、試作および量産向けのオーダーメイド両面研磨サービスを提供しており、基板サイズは10~300 mm、厚さは0.3~50 mmに対応しています。 完成品は図面の仕様に基づいて納品可能で、オプションとしてAR、HR、ITO、または金属コーティングを施すことができます。また、必要に応じて測定報告書やCoCなどの検査書類もご用意いたします。.

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詳細 概要

1. プロセス能力

品目仕様
表面粗さ(Ra)< 0.5 nm
総厚みばらつき(TTV)< 2 μm
並列処理< 10 秒角
平坦度(各面ごと)< λ/4 @ 633 nm
基板の直径範囲10~300 mm
厚さの範囲0.3~50 mm

2. 対応素材

素材
溶融石英
石英ガラス
ホウケイ酸ガラス
サファイア
シリコン
結晶化ガラス
光学ガラス
BK7
CaF₂
MgF₂
ZnSe
ゲルマニウム

3. 表面仕上げの基準

品目仕様
スクラッチ・ディグ(MIL-PRF-13830B)10-5 / 20-10 / 40-20
表面粗さ(Rq/RMS)< 1 nm RMS
平坦度λ/10 – λ/4 @ 633 nm
検査方法干渉法/プロファイル測定
清潔さの基準ISOクラス5のクリーンルーム

4. 代表的な用途

フィールド用途
レーザー光学レーザー用ウィンドウおよび出力カプラー
半導体ウェハーレベルの光学基板
計量学基準フラットおよびエタロン
画像処理精密フィルター基材
防衛・航空宇宙IRウィンドウおよびセンサーウィンドウ

5. カスタム仕様

品目仕様
対応している図面形式DWG / DXF / PDF / STEP
最小注文数量1個(試作品可)
標準リードタイム7~15営業日
コーティング対応AR/HR/ITO/金属コーティング
高品質なドキュメント検査報告書およびCoCをご用意しております

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