Heraeus® Suprasil 1 合成溶融石英

Heraeus® Suprasil 1は、厳しい要件が求められるUV光学、半導体、レーザー、および科学計測機器の用途に使用される高純度合成溶融石英材料です。 99.99%を超える高いSiO₂純度、170～2500 nmの優れた深紫外線透過率、0.51 × 10⁻⁶ /°Cという低い熱膨張率、およびΔn ≤ 1 × 10⁻⁶までの光学均一性を備えており、安定したUV透過率、低不純物レベル、および熱的・光学的ストレス下での信頼性の高い性能が求められる精密部品に適しています。.

当社は、図面、寸法、厚さ、表面品質、および用途要件に基づき、カスタマイズされたHeraeus® Suprasil 1 溶融石英部品を供給しています。代表的な製品には、フォトリソグラフィ用光学素子、半導体プロセス用ウィンドウ、193 nm／248 nmエキシマレーザー用光学素子、UVレンズ、プリズム、光学ウィンドウ、ミラー、分光用部品、および光学・産業プロジェクト向けのその他の精密フュージドシリカ部品が含まれます。.

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詳細概要

1. 基本情報

品目	仕様
材料の種類	合成溶融シリカ
ブランド	Heraeus®
学年	スプラシル 1
代表的なOH含有量	≈ 600～1200 ppm（OH濃度が高い）
密度	2.20 g/cm³

2. 熱的特性

品目	仕様
CTE（0～300°C）	0.51 × 10⁻⁶ /°C
軟化点	≈ 1585°C
アニーリングポイント	≈ 1042°C
ひずみ点	≈ 890°C
熱伝導率	1.38 W/(m·K)

3. 機械的特性

品目	仕様
ヤング率	72.7 GPa
せん断弾性率	31.4 GPa
ポアソン比	0.17
クノープ硬度	≈ 522 kg/mm²
曲げ強度	≈ 67 MPa

4. 光学特性

品目	仕様
587.6 nmにおける屈折率	1.4585
アッベ数	67.8
伝達範囲	170～2500 nm
紫外線透過率	優秀（深紫外線）
均質性	Δn ≤ 1 × 10⁻⁶

5. 電気的特性

品目	仕様
誘電率（20°C、1 MHz）	3.75
ロスタンジェント	≈ 0.0001
体積抵抗率	> 10¹⁸ Ω・cm
絶縁耐力	≈ 250～400 kV/cm

6. 化学的純度

品目	仕様
SiO₂含有量	> 99.99%
金属不純物	< 1 ppm（合計）
気泡と内包物	極めて低い
耐薬品性	素晴らしい（HFを除く）

7. 代表的な用途

フィールド	用途
半導体	フォトリソグラフィ用光学系、プロセスウィンドウ
レーザー	193 nm / 248 nm エキシマレーザー用光学系
光学	UVレンズ、プリズム、窓、鏡
科学的	分光法、蛍光、および紫外線測定機器