유리 재료
유리 세라믹
석영 유리 / 용융 실리카
보로실리케이트 유리
내열 유리 / 고온 유리
저팽창 유리 / 저열팽창계수 유리
초박형 유리
반도체용 유리
광학 유리
유리 가공
정밀 에칭 / 화학 에칭
유리 CNC 가공
유리 접합
양면 연마·폴리싱
레이저 가공 / 레이저 미세 가공
유리 절단
광학 코팅
반사 방지(AR) 코팅
적외선(IR) 반사 방지 코팅
소수성 코팅 및 인듐-주석 산화물(ITO)
금속화 / 메탈 코팅
지문 방지(AF) 코팅

유리-실리콘 소자용 양극 접합

양극 접합 공정은 MEMS 소자, 미세유체 칩, 센서 패키지 및 반도체 관련 부품에 사용되는 강력하고 안정적인 유리-실리콘 조립체를 제작하는 데 활용됩니다. 이 공정은 밀폐된 공동, 정렬된 미세채널, 웨이퍼 레벨 구조가 필요한 부품이나, 붕규산 유리와 실리콘 기판 간의 신뢰성 있는 접합이 필요한 경우에 적합합니다.

유리와 실리콘을 접합하는 프로젝트의 경우, 확인해야 할 주요 사항으로는 재료 등급, 유리 두께, 실리콘 유형, 접합 면적, 채널 또는 캐비티 설계, 정렬 허용오차 및 작업 환경이 있습니다.

당사가 지원하는 대표적인 부품은 다음과 같습니다:

MEMS 기판 — 밀봉된 공동, 센서 구조 및 웨이퍼 레벨 본딩 부품.
미세유체 장치 — 채널, 포트 및 반응실이 있는 유리-실리콘 칩.
센서 패키지 — 실리콘 기반 구조물에 접합된 투명 유리 커버.
반도체 소자 — 안정적인 접합과 청정한 계면이 요구되는 공정 관련 유리-실리콘 조립체.

도면, 재질 조합, 표면 상태, 접합 면적, 정렬 정확도, 수량 및 최종 용도에 따라 맞춤형 양극 접합 요구 사항을 검토해 드릴 수 있습니다.

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상세 정보 소개

광학 접합이란 무엇인가?

광학 접촉 접합은 접착제를 사용하지 않는 접합 기술로, 정밀하게 연마된 두 광학 표면을 밀착시킨 후, 시멘트나 접착제, 가열 과정 없이 반데르발스 분자력에 의해 서로 결합시키는 방식입니다. 두 표면이 모두 충분히 평탄하고(일반적으로 λ/10 이상) 오염이 없을 경우, 계면 전체에 걸친 분자간 인력은 영구적이거나 준영구적인 결합을 형성하기에 충분히 강합니다. 그 결과 생성된 접합부는 광학적으로 투명하며, 유리 자체 이외에 추가적인 굴절률 불연속성을 유발하지 않고, 탁월한 치수 안정성을 나타냅니다. 광학 접촉 접합은 접착제로 인한 파면 왜곡이나 가스 방출이 허용되지 않는 에탈론, 빔 스플리터, 프리즘 어셈블리 및 레이저 캐비티 부품의 제작에 널리 사용됩니다.

공정 능력

  • 표면 평탄도 요구 사항: λ/10 이상 (접합면당)
  • 표면 거칠기 (Ra): ≤ 0.5 nm (초정밀 연마 마감)
  • 접착 강도: ≥ 1 MPa (반 데르 발스 접촉); 최대 10+ MPa (수산화물 촉매 결합)
  • 전파 파면 오차: 개구부 전체에 걸쳐 λ/10 – λ/20
  • 접합 조립의 병렬 처리: ≤ 2 초각
  • 최대 기판 크기: 직경 최대 200 mm
  • 작동 온도 범위: –40 °C ~ +300 °C (재료에 따라 다름)

호환 가능한 재료

1용융 실리카코닝 7980 / 토소 ES-2000
2석영 유리SCHOTT Lithosil Q / Heraeus Suprasil 1
3보로실리케이트 유리PYREX 7740 / BOROFLOAT 33
4사파이어C-평면 / A-평면
5실리콘플로트 존 / 초크랄스키
6유리 세라믹ZERODUR / PYROCERAM 9606
7광학 유리BK7 / N-BK7
8CaF₂UV 등급 / IR 등급
9MgF₂UV 등급
10ZnSeCVD 등급
11게르마늄단결정 / 다결정

표면 마감 기준

  • 평탄도: 표면당 λ/10 (접촉 접착의 경우 최소 λ/4)
  • 표면 거칠기: Ra ≤ 0.5 nm (안정적인 접착을 위해서는 초정밀 연마가 필요함)
  • 스크래치-디그: 10-5 (레이저 등급, MIL-PRF-13830 기준)
  • 청결: ISO 5등급 클린룸 접합 환경
  • 본드 인터페이스 검사: 뉴턴 고리 / 접합 전후의 간섭무늬 검사
  • 본드 후 평탄도: TWE ≤ λ/10 보장

대표적인 적용 분야

  • 파브리-페로 표준기: 접착층이 없는 초고안정성 스페이서 어셈블리
  • 레이저 광학: 고출력 레이저용 공동 내 창, 출력 커플러 및 편광판
  • 간섭계 구성 요소: 계측 기기용 기준 평면 및 빔 스플리터 큐브
  • 중력파 탐지기: 수산화물 촉매를 이용한 결합형 미러 서스펜션 (LIGO형)
  • 우주 광학: 진공 및 방사선 환경용 무접착 조립체
  • 광 절연기 및 위상 지연기: 시멘트가 없는 결정 및 유리 조립체

맞춤 사양

당사는 더 높은 접합 강도나 향상된 고온 안정성이 요구되는 응용 분야를 위해 표준 반데르발스 접합과 수산화물 촉매(규산염) 접합을 모두 지원합니다. 맞춤형 조립체에는 이종 재료 조합(예: 용융 실리카와 사파이어), 다중 요소 적층체, 그리고 외부 표면에 반사방지(AR) 또는 고반사(HR) 코팅이 적용된 접합 조립체가 포함될 수 있습니다. 모든 접합 공정은 통제된 클린룸 환경에서 수행되며, 각 단계마다 완전한 간섭계 검사를 실시합니다. 문서화 자료에는 모든 접합 조립품에 대한 표면 형상 맵, 간섭무늬 기록 및 치수 보고서가 포함됩니다.

접착 강도 대 표면 평탄도

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