광학 창용 광대역 반사 방지 코팅

광대역 AR 코팅은 특정 설계 파장이 아닌 넓은 파장 범위 전반에 걸쳐 반사를 줄이는 데 사용됩니다. 이 코팅은 광학 유리, 용융 실리카, 석영, 사파이어, CaF₂, MgF₂, ZnSe, 게르마늄, 실리콘 및 유리 세라믹 기판에 적합합니다.

사용 가능한 코팅 대역은 VIS 400–700 nm, NIR 700–1100 nm, VIS-NIR 400–1100 nm, UV-VIS 350–700 nm, UV-VIS-NIR 350–1100 nm 및 확장 NIR 600–1600 nm가 있습니다. 코팅 설계는 파장 범위, 기판, 입사각 및 목표 반사율에 따라 맞춤 설정할 수 있습니다.

광대역 AR 코팅이란 무엇인가요?

광대역 반사 방지(BBAR) 코팅은 단일 설계 파장이 아닌, 일반적으로 100 nm 이상에 이르는 넓은 파장 범위 전반에 걸쳐 표면 반사율을 동시에 최소화하도록 최적화된 다층 박막 설계입니다. 특정 파장 하나에서 극히 낮은 반사율(< 0.2%)을 달성하지만 양쪽 끝에서 급격히 상승하는 V-코트와 달리, 광대역 설계는 단계적으로 변화하는 굴절률을 가진 더 복잡한 층 구조(일반적으로 5~9층)를 사용하여 파괴 간섭 조건을 전체 대상 대역에 걸쳐 분산시킵니다. 그 대가로 V-코팅에 비해 최소 반사율이 약간 높지만, 스펙트럼 전반에 걸쳐 훨씬 더 우수한 균일성을 제공합니다. 이로 인해 BBAR 코팅은 백색광 이미징 시스템, 광대역 레이저 플랫폼, 다중 파장 기기 및 단일 파장에 최적화되기보다는 광범위한 파장 범위에서 성능을 유지해야 하는 모든 광학 시스템에 대한 표준 선택이 되었습니다. 증착은 실시간 광학 모니터링을 통해 이온 빔 스퍼터링(IBS) 또는 마그네트론 스퍼터링으로 수행되며, 200mm 기판 전체에 걸쳐 층 두께 정확도를 ±0.5nm, 코팅 균일도를 ±0.5% 반사율 이내로 보장합니다.

도장 성능 사양

디자인 밴드	파장 범위	Ravg	Rmax
VIS BBAR	400–700 nm	< 0.5%	< 1.0%
NIR BBAR	700–1100 nm	< 0.5%	< 1.0%
VIS-NIR BBAR	400–1100 nm	< 1.0%	< 1.5%
UV-VIS BBAR	350–700 nm	< 0.8%	< 1.2%
UV-VIS-NIR BBAR	350–1100 nm	< 1.5%	< 2.0%
확장형 NIR BBAR	600–1600 nm	< 1.0%	< 1.5%
사용자 정의 BBAR	고객 지정	설계에 따라 달라짐	설계에 따라 달라짐

층 수: 5~9층 · 두께 정밀도: ±0.5 nm · 균일도: 200 mm 구간에서 ±0.5% R · AOI: 0°~30° (표준)

호환 가능한 기판

	기판	일반적인 등급
1	용융 실리카	코닝 7980 / 토소 ES-2000
2	석영 유리	SCHOTT Lithosil Q / Heraeus Suprasil 1
3	보로실리케이트 유리	PYREX 7740 / BOROFLOAT 33
4	광학 유리	BK7 / N-BK7 / N-SF11 / N-LAK 시리즈
5	사파이어	C-평면 / A-평면
6	CaF₂	UV 등급 / IR 등급
7	MgF₂	UV 등급
8	ZnSe	CVD 등급
9	게르마늄	단결정 / 다결정
10	실리콘	플로트 존 / 초크랄스키
11	유리 세라믹	ZERODUR / PYROCERAM 9606

레이어 구조 및 설계

디자인	층 재료	레이어 수	증착 방법
VIS BBAR	TiO₂ / SiO₂	4 – 5	IBS / 마그네트론
NIR BBAR	TiO₂ / SiO₂	4 – 5	IBS / 마그네트론
VIS-NIR BBAR	Ta₂O₅ / SiO₂	6 – 7	IBS
UV-VIS BBAR	HfO₂ / SiO₂ / MgF₂	5 – 6	IBS (이온 보조)
UV-VIS-NIR BBAR	Nb₂O₅ / SiO₂ / MgF₂	7 – 9	IBS
확장형 NIR BBAR	Ta₂O₅ / SiO₂	5 – 7	IBS / 마그네트론

모든 설계는 니들 합성 및 전이 행렬법을 통해 최적화되었습니다 · 맞춤형 AOI 및 기판 제공 가능

대표적인 적용 분야

과학적 영상 촬영: 광대역 검출을 위한 현미경 대물렌즈 및 분광기 광학계에 장착된 VIS-NIR BBAR
머신 비전: 백색광 조명 환경에서 일관된 처리량을 보장하기 위한 산업용 카메라 렌즈에 적용된 VIS BBAR 기술
다중 파장 레이저 시스템: 532 nm, 1064 nm 및 1550 nm 파장을 동시에 처리하는 공유 개구부 광학계를 갖춘 VIS-NIR BBAR
천문학 및 망원경 광학: 광대역 천체 관측용 보정판 및 필드 플랫너에 장착된 UV-VIS-NIR BBAR
방위 및 감시: 주간/야간 영상 시스템용 센서 윈도우에 적용된 듀얼 밴드 VIS/NIR BBAR
태양광 발전: 최대 광수집을 위한 태양광 집광 렌즈 및 커버 글라스용 UV-VIS-NIR BBAR

환경 및 내구성 기준

테스트	상태	표준	결과
접착	테이프 박리 시험	MIL-C-48497A	박리 현상 없음
마모	50회 지우개	MIL-C-48497A	코팅 제거 없음
습도	95% RH · 49°C · 24시간	MIL-STD-810	물집이 생기지 않음
온도 사이클링	–65°C ~ +125°C · 10회	MIL-STD-810	갈라짐이나 벗겨짐 없음
염안개	5% NaCl · 35°C · 24시간	MIL-STD-810G	부식 없음
레이저 손상	1064 nm · 10 ns 펄스	ISO 11254	LDT > 5 J/cm²
용해도	증류수 · 24시간 침지	ISO 9211-3	해산 없음