1. 공정 능력
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 표면 거칠기 (Ra) | < 0.5 nm |
| 총 두께 편차 (TTV) | < 2 μm |
| 병렬 처리 | < 10 아크초 |
| 평탄도 (표면별) | < λ/4 @ 633 nm |
| 기판 직경 범위 | 10–300 mm |
| 두께 범위 | 0.3–50 mm |
2. 호환 가능한 재료
| 재료 |
|---|
| 용융 실리카 |
| 석영 유리 |
| 보로실리케이트 유리 |
| 사파이어 |
| 실리콘 |
| 유리 세라믹 |
| 광학 유리 |
| BK7 |
| CaF₂ |
| MgF₂ |
| ZnSe |
| 게르마늄 |
3. 표면 마감 기준
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 스크래치-디그 (MIL-PRF-13830B) | 10-5 / 20-10 / 40-20 |
| 표면 거칠기 (Rq / RMS) | < 1 nm RMS |
| 평탄도 | λ/10 – λ/4 @ 633 nm |
| 검사 방법 | 간섭계법 / 프로파일 측정법 |
| 청결 기준 | ISO 5등급 클린룸 |
4. 대표적인 응용 분야
| 분야 | 응용 분야 |
|---|---|
| 레이저 광학 | 레이저 윈도우 및 출력 커플러 |
| 반도체 | 웨이퍼 레벨 광학 기판 |
| 계측학 | 기준 평면 및 에탈론 |
| 이미징 | 정밀 필터 기판 |
| 방위 및 항공우주 | IR 창 및 센서 창 |
5. 맞춤형 사양
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 허용되는 도면 형식 | DWG / DXF / PDF / STEP |
| 최소 주문 수량 | 1개 (시제품도 가능) |
| 표준 소요 기간 | 영업일 기준 7~15일 |
| 코팅 가능 | AR / HR / ITO / 금속 코팅 |
| 품질 문서 | 검사 보고서 및 CoC 제공 |
