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Heraeus® Suprasil 1 합성 용융 실리카

Heraeus® Suprasil 1은 까다로운 UV 광학, 반도체, 레이저 및 과학 계측기 응용 분야에 사용되는 고순도 합성 용융 실리카 소재입니다. 99.99% 이상의 높은 SiO₂ 순도, 170–2500 nm 범위의 탁월한 심자외선 투과율, 0.51 × 10⁻⁶ /°C의 낮은 열팽창률, 그리고 Δn ≤ 1 × 10⁻⁶에 달하는 광학적 균일성을 갖춘 Suprasil 1은 안정적인 자외선 투과율, 낮은 불순물 수준, 그리고 열적 또는 광학적 스트레스 하에서도 신뢰할 수 있는 성능이 요구되는 정밀 부품에 적합합니다.

당사는 도면, 치수, 두께, 표면 품질 및 용도 요구 사항에 따라 맞춤형 Heraeus® Suprasil 1 용융 실리카 부품을 공급합니다. 대표적인 제품으로는 포토리소그래피용 광학 부품, 반도체 공정용 윈도우, 193 nm / 248 nm 엑시머 레이저용 광학 부품, UV 렌즈, 프리즘, 광학 윈도우, 거울, 분광학 부품 및 광학 및 산업 프로젝트용 기타 정밀 용융 실리카 부품 등이 있습니다.

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상세 정보 소개

1. 기본 정보

항목사양
재료 유형합성 용융 실리카
브랜드Heraeus®
등급수프라실 1
일반적인 OH 함량≈ 600–1200 ppm (OH 농도 높음)
밀도2.20 g/cm³

2. 열적 특성

항목사양
CTE (0–300°C)0.51 × 10⁻⁶ /°C
연화점≈ 1585°C
어닐링점≈ 1042°C
변형점≈ 890°C
열전도도1.38 W/(m·K)

3. 기계적 특성

항목사양
영의 계수72.7 GPa
전단 탄성계수31.4 GPa
푸아송 비0.17
크누프 경도≈ 522 kg/mm²
굽힘 강도≈ 67 MPa

4. 광학적 특성

항목사양
587.6 nm에서의 굴절률1.4585
아베 수67.8
변속 범위170–2500 nm
자외선 투과율탁월함 (심자외선)
균질성Δn ≤ 1 × 10⁻⁶

5. 전기적 특성

항목사양
유전율 (20°C, 1 MHz)3.75
손실 탄젠트≈ 0.0001
부피 저항률> 10¹⁸ Ω·cm
절연 내력≈ 250–400 kV/cm

6. 화학적 순도

항목사양
SiO₂ 함량> 99.99%
금속 불순물< 1 ppm (총량)
기포와 내포물극히 낮음
내화학성훌륭함 (HF 제외)

7. 대표적인 응용 분야

분야응용 분야
반도체포토리소그래피 광학, 공정 윈도우
레이저193 nm / 248 nm 엑시머 레이저 광학 부품
광학자외선(UV) 렌즈, 프리즘, 창, 거울
과학적분광학, 형광 및 자외선 분석 기기

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