1. 기본 정보
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 재료 유형 | 보로실리케이트 플로트 유리 |
| 브랜드 | SCHOTT® |
| 등급 | BOROFLOAT® 33 |
| B₂O₃ 함량 | ≈ 13 wt% |
| 밀도 | 2.20 g/cm³ |
2. 열적 특성
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| CTE (0–300°C) | 3.25 × 10⁻⁶ /°C |
| 연화점 | ≈ 820°C |
| 어닐링점 | ≈ 560°C |
| 변형점 | ≈ 510°C |
| 열전도도 | 1.20 W/(m·K) |
3. 기계적 특성
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 영의 계수 | 64 GPa |
| 전단 탄성계수 | 26.6 GPa |
| 푸아송 비 | 0.20 |
| 크누프 경도 | ≈ 480 kg/mm² |
| 굽힘 강도 | ≈ 25 MPa (절단 직후) |
4. 광학적 특성
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 587.6 nm에서의 굴절률 | 1.471 |
| 아베 수 | 65.8 |
| 변속 범위 | 300–2500 nm (일반적으로) |
| 외관 | 투명하고 무색인 |
| 표면 품질 | 불로 연마한 플로트 표면 |
5. 화학적 성질
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 방수 성능 (DIN ISO 719) | HGB 1반 |
| 내산성 (DIN 12116) | S급 1 |
| 내알칼리성 (DIN ISO 695) | A급 2 |
| HF 내성 | 불쌍한 (HF의 공격을 받은) |
| 전반적인 화학적 내구성 | 훌륭합니다 |
6. 대표적인 응용 분야
| 분야 | 응용 분야 |
|---|---|
| 반도체 | 웨이퍼 본딩 기판 및 공정 윈도우 |
| MEMS | 실리콘 웨이퍼를 이용한 양극 접합 |
| 미세유체공학 | 랩온칩 및 미세유체 소자 |
| 광학 | 정밀 광학 윈도우 및 필터 기판 |
| 표시 | 평판 디스플레이 기판 |
