1. 기본 정보
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 재료 유형 | 합성 용융 실리카 |
| 브랜드 | SCHOTT® |
| 등급 | 리토실 Q |
| 일반적인 OH 함량 | ≈ 600–1200 ppm (OH 농도 높음) |
| 밀도 | 2.20 g/cm³ |
2. 기계적 특성
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 영의 계수 | 72.7 GPa |
| 전단 탄성계수 | 31.4 GPa |
| 푸아송 비 | 0.17 |
| 크누프 경도 | ≈ 522 kg/mm² |
| 굽힘 강도 | ≈ 67 MPa |
3. 열적 특성
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| CTE (0–300°C) | 0.51 × 10⁻⁶ /°C |
| 연화점 | ≈ 1585°C |
| 어닐링점 | ≈ 1042°C |
| 변형점 | ≈ 890°C |
| 열전도도 | 1.38 W/(m·K) |
4. 광학적 특성
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 587.6 nm에서의 굴절률 | 1.4585 |
| 아베 수 | 67.8 |
| 변속 범위 | 170–2500 nm |
| 자외선 투과율 | 탁월함 (심자외선) |
| 균질성 | Δn ≤ 1 × 10⁻⁶ |
5. 화학적 순도
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| SiO₂ 함량 | > 99.99% |
| 금속 불순물 | < 1 ppm (총량) |
| 기포와 내포물 | 극히 낮음 |
| 내화학성 | 훌륭함 (HF 제외) |
6. 대표적인 응용 분야
| 분야 | 응용 분야 |
|---|---|
| 반도체 | 포토리소그래피 광학, 공정 윈도우 |
| 레이저 | 193 nm / 248 nm 엑시머 레이저 광학 부품 |
| 천문학 | 망원경 렌즈 및 거울 기판 |
| 과학적 | 자외선 분광법 및 고성능 계측 장비 |
7. UV 등급 용융 실리카 — 등급 비교
| 속성 | SCHOTT® Lithosil Q | 코닝® 7980 | Heraeus® Suprasil 1 | Tosoh® ES-2000 |
|---|---|---|---|---|
| 재료 유형 | 합성 용융 실리카 | 합성 용융 실리카 | 합성 용융 실리카 | 합성 용융 실리카 |
| OH 콘텐츠 | 600–1200 ppm | 800–1000 ppm | 600–1200 ppm | 600–1000 ppm |
| 변속 범위 | 170–2500 nm | 180–2500 nm | 170–2500 nm | 170–2500 nm |
| 균질도 (Δn) | ≤ 1 × 10⁻⁶ | ≤ 1 × 10⁻⁶ | ≤ 1 × 10⁻⁶ | ≤ 2 × 10⁻⁶ |
| CTE (0–300°C) | 0.51 × 10⁻⁶ /°C | 0.52 × 10⁻⁶ /°C | 0.51 × 10⁻⁶ /°C | 0.51 × 10⁻⁶ /°C |
| 영의 계수 | 72.7 GPa | 72.7 GPa | 72.7 GPa | 72.5 GPa |
| SiO₂ 순도 | > 99.99% | > 99.99% | > 99.99% | > 99.99% |
| 브랜드의 기원 | 독일 | 미국 | 독일 | 일본 |
| 업계 강점 | 정밀 광학 및 천문학 | 반도체 및 UV 레이저 | 유럽 광학 및 레이저 | 반도체 및 아시아·태평양 지역 |
