당사의 고성능 투명 전도성 산화물(TCO) 박막 코팅 제품군에는 다음이 포함되며— ITO, FTO 및 AZO—는 가시광선 투과율을 극대화하면서도 ($>80\% - 88\%$) 및 정확한 시트 저항 ($10 - 100\ \Omega/\text{sq}$). 첨단 마그네트론 스퍼터링 및 CVD 기술을 통해 증착된 이 코팅들은 일반 유리를 터치 패널, 투명 히터, EMI 차폐 및 태양광 연구에 이상적인 능동형 전기 인터페이스로 변환시킵니다.
최대 [값]까지 조정 가능한 시트 저항을 갖춘, 완전히 맞춤 설정 가능한 디자인 $ < 5\ \Omega/\text{sq}$, 최적화된 UV/VIS/NIR 파장 및 패턴 처리된 TCO 옵션. 퓨즈드 실리카, 석영, 붕규산 유리, 사파이어 및 실리콘 웨이퍼에 걸쳐 원활하게 적용 가능합니다.
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투명 전도성 코팅은 기판을 통해 높은 광 투과율을 유지하면서 전기 전도성 표면을 형성하는 박막 공정입니다. 가장 일반적인 투명 전도성 산화물 박막으로는 인듐-주석 산화물(ITO), 불소 도핑 주석 산화물(FTO), 알루미늄 도핑 아연 산화물(AZO) 등이 있습니다. 이러한 코팅은 일반적으로 재료, 기판의 온도 한계, 전도도 요구 사항 및 목표 광학 성능에 따라 마그네트론 스퍼터링, 화학 기상 증착(CVD), 스프레이 열분해 또는 기타 박막 코팅 방법을 통해 증착됩니다. 투명 전도성 코팅은 터치 패널, 투명 전극, 디스플레이 모듈, 광학 센서, 가열 창, EMI 차폐 창, 전기광학 소자 등, 유리나 광학 창이 광 투과 부품이자 전기적 인터페이스 역할을 동시에 수행해야 하는 경우에 널리 사용됩니다.
도장 성능 사양
매개변수
표준 범위
맞춤 제작 능력
코팅 유형
ITO / FTO / AZO
하이브리드 TCO + 금속 스택
시트 저항
10–100 Ω/sq
< 5 – 500 Ω/sq
가시광선 투과율
> 80 – 88%
> 박막이 최적화된 90%
필름 두께
50–300 nm
20–800 nm
작동 파장
400–700 nm
UV, VIS, NIR에 최적화된 설계
표면 균일성
±10%
±5% 시트 저항 매핑
도장 면적
전체 면적 전도성 필름
무늬가 있는 전극 / 분리된 영역
호환 가능한 재료
재료
일반적인 등급
1
용융 실리카
코닝 7980 / 토소 ES-2000
2
석영 유리
SCHOTT Lithosil Q / Heraeus Suprasil 1
3
보로실리케이트 유리
PYREX 7740 / BOROFLOAT 33
4
소다-라임 유리
플로트 유리 / 디스플레이용 유리
5
광학 유리
BK7 / N-BK7 / B270
6
알루미노실리케이트 유리
디스플레이 커버 유리 / 강화 유리
7
사파이어
C-평면 / A-평면 사파이어
8
실리콘 웨이퍼
열 산화막 / SiO₂ 코팅 웨이퍼
9
세라믹 기판
Al₂O₃ / AlN
10
폴리머 필름
PET/PEN, 저온 코팅
11
사전 코팅된 기판
AR / SiO₂ / 유전체 코팅 유리
코팅 유형 및 설계 전략
코팅
주요 강점
일반적인 용도
ITO
높은 전도도와 우수한 가시광선 투과율
터치 패널, 디스플레이, 센서, 투명 전극
FTO
높은 열적 및 화학적 안정성
태양전지, 가열 유리, 전기화학 소자
AZO
인듐이 포함되지 않은 전도성 산화물 옵션
연구용 장치, 대면적 코팅, 비용 효율을 고려한 설계
ITO + 금속 버스바
접촉 저항 감소 및 전류 분산 개선
투명 히터, 대형 전극, 터치 인터페이스
TCO + AR 스택
광 투과율 향상 및 반사율 감소
광학 창, 센서, 디스플레이 커버
무늬가 있는 TCO
정의된 전극 형상 및 분리된 전도 영역
미세유체공학, 전극 어레이, 광전자 소자
대표적인 적용 분야
투명 전극: 액정 셀, 전기광학 소자, OLED 연구 및 광 변조 시스템을 위한 전도성 광학 표면
터치 패널: 투영 정전용량식 터치 센서, 디스플레이 커버 글라스 및 인터랙티브 제어 패널용 투명 전도성 층
광학 센서: 전하 소산, 능동 감지, 광검출기 창 및 전기적 바이어스가 적용된 광학 인터페이스용 전도성 창
투명 히터: 안개 방지 창, 카메라 커버, 센서 창 및 저온 열 제어용 ITO 또는 FTO 히터 코팅
EMI 차폐 창: 광학적 가시성을 유지하면서 전자기 간섭을 줄여주는 투명 전도성 필름
태양광 및 실험실용 장치: 태양전지 연구, 전기화학, 페로브스카이트 소자 및 광전자 테스트용 전도성 유리 기판
맞춤 사양 및 검사
투명 전도성 코팅은 시트 저항, 가시광 투과율, 필름 두께, 기판 크기, 코팅 면적, 패턴 형상, 접점 패드 배열, 버스바 재질, 표면 거칠기 및 증착 후 어닐링 조건에 따라 맞춤 제작할 수 있습니다. 소자 수준의 요구 사항에 따라, 전도성 코팅을 포토리소그래피 패터닝, 레이저 어블레이션, 습식 에칭, 금속 접점 증착, AR 코팅, 다이싱, 드릴링, 연마 및 광학 세정 공정과 결합할 수 있습니다. 검사 옵션으로는 4점 프로브 시트 저항 측정, 다점 저항 매핑, UV-VIS-NIR 투과율 테스트, 헤이즈 검사, 접착력 테스트, 현미경 결함 검토, 패턴화된 설계의 선폭 측정, 클린룸 호환 트레이 또는 진공 밀봉 백에의 포장 등이 있습니다.
투명 전도성 코팅 선정 가이드
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